วิธีการตรวจสอบความถูกต้องของผลลัพธ์การประมวลผลด้วยเลเซอร์โดยใช้กล้องจุลทรรศน์และเครื่องวัดโปรไฟล์
การวัดที่แม่นยำด้วยกล้องจุลทรรศน์ดิจิทัล
กล้องจุลทรรศน์ดิจิทัลเป็นวิธีการตรวจสอบคุณภาพการประมวลผลด้วยเลเซอร์ในด่านแรก ช่วยให้สามารถมองเห็นคุณลักษณะที่สำคัญได้โดยตรง เช่น ความกว้างของเส้นที่สลัก ความตรงของขอบ และลักษณะพื้นผิว ระบบเลเซอร์ของ เล่อเฉิง ผลิตลวดลาย P1-P3 ที่มีความกว้างของเส้น ≤30 ไมโครเมตร ซึ่งต้องใช้กล้องจุลทรรศน์ความละเอียดสูง (กำลังขยายสูงสุด 1000 เท่า) เพื่อตรวจสอบความสอดคล้องกับข้อกำหนดการออกแบบ ตัวอย่างเช่น ในการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ชนิดเพอร์รอฟสไกต์ กล้องจุลทรรศน์จะเผยให้เห็นข้อบกพร่องเล็กน้อย เช่น รอยแตกขนาดเล็ก หรือความลึกของการกัดเซาะที่ไม่สม่ำเสมอ ซึ่งอาจทำให้เกิดการรั่วไหลของกระแสไฟฟ้า เครื่องมือซอฟต์แวร์ขั้นสูงจะวัดความแม่นยำของมิติเทียบกับการออกแบบ ซีดี ในขณะที่การวิเคราะห์ภาพอัตโนมัติจะแจ้งเตือนความเบี่ยงเบนที่เกินค่าความคลาดเคลื่อน ±5 ไมโครเมตร วิธีการที่ไม่ทำลายนี้มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการควบคุมคุณภาพในการผลิตจำนวนมาก ซึ่งรอบการตรวจสอบที่รวดเร็วช่วยรักษาระดับการผลิตโดยไม่ลดทอนความแม่นยำ
การวัดโปรไฟล์เพื่อสร้างภาพภูมิประเทศ 3 มิติและการวิเคราะห์ความลึก
ในขณะที่กล้องจุลทรรศน์ประเมินลักษณะ 2 มิติ การวัดโปรไฟล์จะบันทึกภาพภูมิประเทศ 3 มิติเพื่อหาปริมาณความลึกของการตัดด้วยเลเซอร์ ความหยาบของพื้นผิว และมุมความลาดเอียงของขอบ เล่อเฉิง ใช้การแทรกสอดแสงสีขาวและเครื่องวัดโปรไฟล์แบบสแกนด้วยเลเซอร์เพื่อวัดความลึกของร่อง P1-P3 ด้วยความละเอียดระดับนาโนเมตร ทำให้มั่นใจได้ถึงการแยกทางไฟฟ้าที่ดีที่สุดในเซลล์แสงอาทิตย์แบบฟิล์มบาง ตัวอย่างเช่น การวัดโปรไฟล์จะตรวจจับความไม่สม่ำเสมอของความลึกในรอยบาก P2 ซึ่งอาจขัดขวางการสัมผัสระหว่างชั้น TCO และชั้นอิเล็กโทรด โปรไฟล์ภาคตัดขวางยังยืนยันประสิทธิภาพของเทคโนโลยีการติดตามโฟกัสของ เล่อเฉิง โดยแสดงให้เห็นถึงความลึกที่สม่ำเสมอ (±0.5 μm) ทั่วทั้งพื้นผิวที่บิดเบี้ยว ข้อมูลนี้มีความสัมพันธ์กับประสิทธิภาพของอุปกรณ์ เช่น ความกว้างของโซนตายส่งผลโดยตรงต่อประสิทธิภาพของโมดูล ทำให้สามารถปรับปรุงกระบวนการเพื่อเพิ่มผลผลิตได้
กระบวนการตรวจสอบความถูกต้องแบบบูรณาการเพื่อการเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการ
เล่อเฉิง ผสานรวมกล้องจุลทรรศน์และเครื่องวัดโปรไฟล์เข้าไว้ในขั้นตอนการตรวจสอบแบบครบวงจร โดยข้อมูลจากทั้งสองเทคนิคจะถูกป้อนเข้าสู่ระบบวิเคราะห์ที่ขับเคลื่อนด้วย AI เพื่อคาดการณ์การปรับพารามิเตอร์เลเซอร์ ตัวอย่างเช่น หากเครื่องวัดโปรไฟล์ตรวจพบความเสียหายจากความร้อนเกิน 10 ไมโครเมตรในพื้นผิวแก้ว ระบบจะแนะนำให้ลดระยะเวลาของพัลส์หรือเปลี่ยนไปใช้โหมดการตัดด้วยความเย็นโดยอัตโนมัติ ในทำนองเดียวกัน ภาพจากกล้องจุลทรรศน์ของการแยกขอบ P4 จะถูกวิเคราะห์เพื่อตรวจสอบการปกคลุมของสารตกค้าง ซึ่งจะกระตุ้นให้ทำการปรับเทียบกำลังเลเซอร์ใหม่หากความสะอาดลดลงต่ำกว่า 98% การตรวจสอบแบบวงปิดนี้ถูกรวมเข้ากับแพลตฟอร์ม อินเทอร์เน็ตของสิ่งต่างๆ (IoT) ของ เล่อเฉิง ทำให้สามารถเชื่อมโยงพารามิเตอร์ของอุปกรณ์ (เช่น ความเร็วของกัลวาโนมิเตอร์) และตัวชี้วัดคุณภาพแบบเรียลไทม์ ผลลัพธ์ที่ได้คือสายการผลิตที่ปรับปรุงตัวเองได้โดยอัตโนมัติ ซึ่งรักษาอัตราข้อบกพร่องไว้ที่ ≤0.1% ในการใช้งานที่ต้องการความแม่นยำสูง เช่น การเชื่อมอุปกรณ์ทางการแพทย์หรือการตัดแผงจอแสดงผล
กล้องจุลทรรศน์และเครื่องวัดโปรไฟล์เปลี่ยนการตรวจสอบด้วยสายตาแบบอัตนัยให้เป็นเกณฑ์มาตรฐานคุณภาพที่วัดได้ ทำให้ลูกค้าของ เล่อเฉิง สามารถบรรลุความแม่นยำที่ไม่เคยมีมาก่อนในการประมวลผลด้วยเลเซอร์ ด้วยการผสานรวมเครื่องมือเหล่านี้เข้ากับการวิเคราะห์อัจฉริยะ เล่อเฉิง จึงเชื่อมช่องว่างระหว่างการออกแบบเชิงทฤษฎีและความเป็นจริงในการผลิต
