ปากกาสไตลัส โพรฟิโลมิเตอร์: เครื่องมือวัดพื้นผิวสัมผัสที่มีความแม่นยำสูง
หลักการทำงาน
โพรฟิโลมิเตอร์สไตลัสทำงานผ่านการสัมผัสทางกายภาพโดยตรงระหว่างหัววัดปลายเพชรกับพื้นผิวตัวอย่าง ขณะที่สไตลัสเคลื่อนที่ผ่านพื้นผิว จุดสูงสุดและจุดต่ำสุดในระดับจุลภาคจะทำให้เกิดการเคลื่อนตัวในแนวตั้ง ซึ่งจะถูกแปลงเป็นสัญญาณไฟฟ้าผ่านเซ็นเซอร์ สัญญาณเหล่านี้จะถูกประมวลผลผ่านสะพานวัด การขยายสัญญาณ การแก้ไขแบบไวต่อเฟส และการกรอง เพื่อสร้างเอาต์พุตที่เปลี่ยนแปลงช้าๆ ตามสัดส่วนการเคลื่อนที่ของสไตลัส ซึ่งจะช่วยสร้างภูมิประเทศของพื้นผิวขึ้นมาใหม่
คุณสมบัติของเครื่องดนตรี
1. ความแม่นยำสูง
ความละเอียดแนวตั้งซับอังสตรอม (≤0.1 นาโนเมตร)
วัดการเปลี่ยนแปลงความสูงตั้งแต่ระดับไมครอนไปจนถึงระดับนาโนเมตร
เก็บข้อมูลที่ครอบคลุม: ภูมิประเทศ ความขรุขระ ความเป็นคลื่น
2. เสถียรภาพที่ยอดเยี่ยม
ความสามารถในการทำซ้ำได้สูง (σ < 0.5% @ ขั้นตอน 1μm)
การวัดซ้ำสำหรับรายละเอียดภูมิประเทศที่ละเอียดอ่อน
3. การใช้งานที่เป็นมิตรต่อผู้ใช้
ระบบนำทางการมองเห็นสีเสริม
เทคโนโลยีหัววัดแม่เหล็กสำหรับการเปลี่ยนปลายอย่างรวดเร็ว (<30 วินาที)
ฟังก์ชั่นปรับระดับอัตโนมัติและซอฟต์แวร์ที่ใช้งานง่ายพร้อมโมดูลการสอบเทียบ
4. ความสามารถแบบอเนกประสงค์
วัดความสูงของขั้นบันได ความหนาของฟิล์ม ความหยาบ ความเค้น ฯลฯ
รองรับโหมดการสแกนหลายโซนและ 3 มิติ
การวิเคราะห์ทางสถิติ เอสพีซี แบบบูรณาการ (เช่น การคำนวณ ซีพี/ซีพีเค)
ฟิลด์แอปพลิเคชัน
อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
การวัดความสูงขั้นของฟิล์มบาง (ชั้น พีวีดี/โรคหลอดเลือดหัวใจ)
การกำหนดลักษณะโปรไฟล์โฟโตเรซิสต์
การวัดปริมาณอัตราการกัด
การตรวจสอบ ซีเอ็มพี (การขัดด้วยสารเคมีและกลไก)
โฟโตวอลตาอิกส์
การวิเคราะห์ความหนาของการเคลือบสำหรับเซลล์แสงอาทิตย์
การวัดความสูงขั้นหลังการกัดกรด
การเพิ่มประสิทธิภาพการทำงานของเซลล์เพอรอฟสไกต์/บุหรี่ไฟฟ้า